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一文帶你認(rèn)識SEM掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)組成

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  SEM掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。它由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成,應(yīng)用于生物、醫(yī)學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。
 
  SEM掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)組成:
 
  1、電子光學(xué)系統(tǒng)
 
  組成:電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
 
  作用:獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。
 
  2、信號收集和顯示系統(tǒng)
 
  信號收集:二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器(波譜儀和能譜儀)
 
  顯示系統(tǒng):顯示屏有兩個,一個用于觀察,一個用于記錄照相。
 
  3、真空系統(tǒng)
 
  組成:機(jī)械泵、擴(kuò)散泵
 
  作用:保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,提供高真空度,防止樣品污染,保持燈絲壽命,防止極間放電。
 
  4、電源系統(tǒng)
 
  包括啟動的各種電源,檢測-放大系統(tǒng)電源,光電倍增管電源,真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路。
 
  SEM掃描電子顯微鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。它的制造依據(jù)是電子與物質(zhì)的相互作用。

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